----利用微机械加工集成技术，将MEMS器件叠加在IC上产生了一系列新器件，兼有两种技术的属性。与实现同样功能的分离器件相比，这些新器件不但体积小，成本低，而且性能也更好。 ----IC制造公司Analog Devices（位于美国麻省的Norwood）成功地开发了一种新颖的微机械加工集成技术，即将一家专门制造厂制造的MEMS构造，安装在另一家半导体晶圆加工厂制成的芯片上。这样就产生了一系列新型的微机械加工隔离器件。这种新型隔离器件有望减轻制造现有数字信号隔离装置时，在成本、器件大小尺寸以及性能等方面所遇到的困难。 ---- 此项技术，被命名为“微机械加工隔离技术（μmIsolation）”。它生成一层绝缘隔离层，将用微机械加工技术制成的发送线圈，和下面的第二个线圈相隔离；下面的线圈则是半导体接收芯片的一部分。然后再在上面的MEMS结构和下面的半导体的相应部位做好连接。 ----如此形成的器件具有集成密度高，成本低的特点。并且由于吸收了两种器件技术的特长，此种新器件达到的性能水平也是使用其它方法无法做到的。μmIsolation技术的应用使得开发性能优越的隔离器件成为可能；并且由于可以在半导体器件中嵌入隔离器，从而使一系列新型的半导体器件得以诞生。 ---- 最先诞生的产品是一种高速数字信号隔离器，命名为AduM1100系列。预计将在今年10月上市。这类器件，输出和输入之间可耐2500Vrms电压；传输速率可达100Mbit/s（约相当与光耦合器的4倍，而且所消耗的功率要低三分之二）。 ---- 将来打算将此技术应用于制造继电器，收发装置，数据变换器，以及变压器等零件。微机械加工制造的变压器，可以传输模拟信号，甚至可以实现功率的跨越传送。它的隔离性能，成本，和尺寸大小都和AduM1100差不多。如欲进一步了解，请和Analog Devices公司的Ronn Kliger先生联系。 电话号码为：001-781-937-1769；e-mail为；ronn.kliger@analog.com；或访问：http://analog.com/umic。 --------David Suchmann/王正华译 PCB设计网 
图：MEMS磁收/发线圈，装在通常的半导体芯片上，具有数据传输率高，瞬变信号抑制强，信号保真度好，并改进了数字信号的隔离。 电子技术论文网
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采用MEMS集成技术，推进数字线路隔离技术的发展(图)
来源：epc.com.cn 作者：David Suchmann/王正华